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■超高速レーザ変位センサ HL-C105-SET 主な特長
さまざまなワークを超高速&安定検出
ワークの表面状態に影響されにくい高精度測定を実現
従来のPSD方式の弱点を解決。素子上に結んだスポット光全体の光量の重心を位置情報として測定するPSD方式に対し、イメージセンサ方式はスポット光のピーク位置を測定しますので、金属のヘアライン面や反射光量の少ない黒ゴムなど、ワークの表面状態の影響を抑え高精度な測定が可能です。
主な仕様
■センサヘッド
| 測定中心距離 | 50±5mm |
|---|---|
| 分解能 | 1μm |
| 直線性 | ±0.1%F.S. |
| 温度特性 | ±0.02%F.S./℃ |
| 本体質量 | 約300g |
■コントローラ
| 接続センサヘッド台数 | 1台 | |
|---|---|---|
| サンプリング周期 | 最速 100μs | |
| 温度特性 | ±0.01%F.S./℃ | |
| アナログ出力 | 電圧 | 出力電圧：±5V/F.S. 出力範囲：-10.9〜+10.9V |
| 電流 | 出力電流：4〜20mA/F.S. 出力範囲：0〜29.5mA | |
| シリアル入・出力 | RS-232C | |
| 本体質量 | 約300g | |
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